Analyse simultanée par absorption atomique d’éléments multiples

DESCRIPTION

La solution technologique développée permet la mesure simultanée des flux de plusieurs éléments atomique de façon simple et robuste. Pour chaque élément, un lampe à cathode creuse émet plusieurs raies spécifiques à l’élément choisi, et une ou plusieurs de ces raies sont détectées par un spectromètre 1D.

L’instrument se compose :

• D’objets lumineux type lampes à cathode aux longueurs d’onde des matériaux d’intérêt
• D’une fibre optique double cœurs
• D’un spectromètre 1D
• D’un logiciel de traitement d’images temps réel

APPLICATIONS

Equipements de la microélectronique :

• Epitaxie (MBE, MOCVD…)
• Dépôt couche mince (CVD, Evaporation)